JEOL JSM-IT800
Автоэмиссионный SEM с пушкой In-lens Schottky Plus. Суб-нанометровое разрешение. Ускоряющее напряжение 0,01-30 кВ. Ток до 500 нА. 5 вариантов объективных линз (HL, SHL, SHLs, i, is). Увеличение до 2 000 000x.
ООО «Спин Аналитика» не осуществляет продажу оборудования. Платформа является информационно-навигационным сервисом.
Ключевые характеристики
| Тип | Автоэмиссионный SEM (In-lens Schottky Plus FEG) |
| Детекторы | SE, BSE, in-lens SE/BSE, STEM (опции) |
| Разрешение | Суб-нанометровое (зависит от объектива) |
| Увеличение | до 2 000 000x |
| Форм-фактор | Напольный |
| Макс. ток пучка | 500 нА |
| Объективные линзы | 5 вариантов (HL, SHL, SHLs, i, is) |
| Ускоряющее напряжение | 0,01-30 кВ |
| Программное обеспечение | SEM Center, Smile View |
Описание
Назначение
JEOL JSM-IT800 - автоэмиссионный сканирующий электронный микроскоп с пушкой In-lens Schottky Plus для высокоразрешающей визуализации и аналитики.
Место в линейке
JSM-IT800 - верхняя модель исследовательских SEM JEOL. Младшая JSM-IT510 - вольфрамовый SEM для рутинных задач. Для ультравысокого разрешения: JSM-F100 (CFEG, < 0,5 нм). TEM: JEM-F200 (200 кВ).
JEOL (Токио, Япония) производит электронные микроскопы с 1949 года.
Принцип работы
In-lens Schottky Plus FEG формирует стабильный пучок с высоким током (до 500 нА). 5 вариантов объективных линз оптимизируют прибор под задачу: HL (гибридная, универсальная), SHL (супергибридная, макс. разрешение), i (semi-in-lens, полупроводники).
Позиция на рынке
JEOL конкурирует с Thermo (Apreo), Zeiss (GeminiSEM) и Hitachi (SU7000). Уникальное преимущество JEOL - 5 вариантов объективных линз под разные задачи.
Ключевые технологии
In-lens Schottky Plus FEG
Пушка расположена внутри линзы (in-lens). Высокая яркость и стабильность. Ток до 500 нА - один из самых высоких среди FE-SEM. Высокий ток критичен для EDS/EBSD-анализа.
5 вариантов объективных линз
HL (гибридная): универсальная. SHL (супергибридная): максимальное разрешение. SHLs: SHL + широкий зазор для крупных образцов. i (semi-in-lens): для полупроводников (иммерсионная). is: i + широкий зазор.
Ускоряющее напряжение 0,01-30 кВ
Работает при 10 В (0,01 кВ) - одно из самых низких. Ультранизкое напряжение визуализирует поверхность без повреждения и заряжания.
Для кого подходит
- Материаловедение - наноструктура, фрактография, коррозия
- Полупроводники - инспекция, метрология, дефекты (объективы i/is)
- Геология - минералогия, EBSD, автоматическая минералогия
- Биология - низковольтная визуализация поверхности
- Нанотехнологии - наночастицы, нанотрубки, графен
Особенности эксплуатации
Программное обеспечение
SEM Center - управление. Smile View - аналитика. Автоматизация: IT-InTouchScope для удалённого управления.
Требования к установке
- Форм-фактор: напольный
- Виброизоляция и электромагнитная защита
- Площадь: ~6 м²
Ограничения
- Напольный, требует специального помещения
- Стоимость 5-луночной конфигурации существенна
- Модель снята с производства, преемник JSM-IT810
Области применения
Сравнение с аналогами
Apreo 2: Trinity Detection, ChemiSEM, Stage Bias -4 кВ. IT800: In-lens Schottky Plus (500 нА), 5 объективов, 0,01 кВ. Для встроенного EDS - Apreo, для гибкости объективов и высокого тока - JEOL.
GeminiSEM 560: Gemini-колонна, NanoVP. По разрешению сопоставим. Zeiss - уникальный NanoVP для непроводящих образцов. JEOL - 5 объективов и 500 нА.
Частые вопросы
Зачем 5 вариантов объективных линз?
Каждая линза оптимизирована под свою задачу. HL - универсальная (90% задач). SHL - максимальное разрешение (наноматериалы). i - для полупроводников (иммерсионная, плоские образцы). Лаборатория выбирает конфигурацию при заказе.
Дополнительные материалы
Коды для госзакупок
Возможные коды ОКПД2 для закупки данного оборудования по 44-ФЗ и 223-ФЗ. Выбор кода зависит от назначения и контекста закупки.
Коды КТРУ регулярно обновляются Минфином и зависят от конкретных характеристик закупаемого оборудования (автоматическое/полуавтоматическое, с охлаждением/без и т.д.). Актуальные коды КТРУ доступны только в Единой информационной системе закупок.
Информация о кодах ОКПД2 носит справочный характер. Коды приведены в качестве примера возможных вариантов классификации данного оборудования. Выбор кода, его соответствие нормативно-правовым актам и целесообразность применения определяются заказчиком самостоятельно. ООО «Спин Аналитика» не несёт ответственности за некорректное применение указанных кодов при осуществлении закупочных процедур.