Park Systems NX20
АСМ с раздельными XY и Z сканерами (Crosstalk Elimination), True Non-Contact Mode и автоматизацией SmartScan. Сканер 100 x 100 x 15 мкм. Разрешение по Z < 0,05 нм. Встроенная оптика с 1000x увеличением. ПО SmartScan/XEI.
ООО «Спин Аналитика» не осуществляет продажу оборудования. Платформа является информационно-навигационным сервисом.
Ключевые характеристики
| Тип | Атомно-силовой микроскоп (АСМ) с раздельными XY/Z сканерами |
| Сканер | 100 x 100 x 15 мкм (закрытый контур, раздельные XY/Z) |
| True Non-Contact | Да (без износа зонда) |
| Crosstalk Elimination | Да (раздельные XY и Z сканеры) |
| Форм-фактор | Настольный (виброизоляционный стол) |
| Автоматизация | SmartScan |
| Разрешение по Z | < 0,05 нм |
| Встроенная оптика | До 1000x увеличение |
| Программное обеспечение | SmartScan, XEI |
Описание
Назначение
Park Systems NX20 - атомно-силовой микроскоп с раздельными XY и Z сканерами для прецизионной метрологии поверхности.
Место в линейке
NX20 - исследовательская модель Park. Младшая NX10 - компактная. Старшая NX-Hivac - для вакуума. Для автоматизированного контроля: NX-Wafer.
Park Systems (Сувон, Южная Корея) - второй крупнейший производитель АСМ после Bruker.
Принцип работы
Раздельные XY и Z сканеры (Crosstalk Elimination): пьезосканер XY двигает образец в горизонтальной плоскости, отдельный Z-сканер двигает зонд по вертикали. В обычных АСМ один сканер двигает и XY, и Z - это вызывает перекрёстные помехи (crosstalk) между осями.
True Non-Contact Mode: кантилевер осциллирует с амплитудой < 1 нм, не касаясь поверхности. Зонд не изнашивается, образец не повреждается.
Позиция на рынке
Park NX20 конкурирует с Bruker Dimension Icon. Уникальные преимущества: раздельные сканеры (точная метрология) и True Non-Contact Mode (без износа зонда).
Ключевые технологии
Crosstalk Elimination
Раздельные XY и Z сканеры исключают перекрёстные помехи. При движении по XY Z-положение не меняется (и наоборот). Результат: точные размеры элементов без программной коррекции.
Для метрологии (измерение CD, глубины, шероховатости) это критично: ошибка 2-5% у обычных сканеров устраняется.
True Non-Contact Mode
Зонд осциллирует над поверхностью на расстоянии 1-10 нм. Обратная связь по сдвигу частоты (не амплитуды). Зонд не касается поверхности = не изнашивается. Один кантилевер служит недели.
SmartScan (автоматизация)
SmartScan автоматически: наводит лазер, выбирает зонд, оптимизирует параметры обратной связи, адаптирует скорость под рельеф. Сканирование запускается нажатием одной кнопки.
Для кого подходит
- Полупроводниковая метрология - CD, глубина канавок, шероховатость (Crosstalk Elimination)
- Материаловедение - топография, шероховатость, размер зерна
- Наноматериалы - размер и форма наночастиц, нанотрубок
- Тонкие плёнки - толщина ступеньки, шероховатость
- Биология - визуализация биомолекул без повреждения (True Non-Contact)
Особенности эксплуатации
Программное обеспечение
SmartScan - управление. XEI - обработка изображений. Автоматическая оптимизация, статистика шероховатости (Ra, Rq, Rz).
Требования к установке
- Виброизоляционный стол
- Температура: 20 ± 1 °C
- Акустическая защита
Ограничения
- True Non-Contact лучше работает на жёстких образцах (мягкие - сложнее)
- Установленная база меньше Bruker
- Скорость сканирования ниже, чем у Bruker FastScan
Области применения
Сравнение с аналогами
Dimension Icon: PeakForce QNM, ScanAsyst, 90x90 мкм, большая установленная база. NX20: раздельные XY/Z (Crosstalk Elimination), True Non-Contact, 100x100 мкм. Для наномеханики - Icon. Для метрологии - NX20.
Cypher: малый сканер (30x30 мкм), blueDrive, ультранизкий шум. NX20: большой сканер (100x100), раздельные XY/Z. Для ультравысокого разрешения - Cypher. Для метрологии больших площадей - NX20.
Частые вопросы
Park NX20 или Bruker Dimension Icon?
Park: раздельные XY/Z сканеры (точная метрология), True Non-Contact (без износа). Bruker: PeakForce QNM (наномеханика), ScanAsyst, большая установленная база. Для метрологии - Park. Для наномеханики - Bruker.
Дополнительные материалы
Коды для госзакупок
Возможные коды ОКПД2 для закупки данного оборудования по 44-ФЗ и 223-ФЗ. Выбор кода зависит от назначения и контекста закупки.
Коды КТРУ регулярно обновляются Минфином и зависят от конкретных характеристик закупаемого оборудования (автоматическое/полуавтоматическое, с охлаждением/без и т.д.). Актуальные коды КТРУ доступны только в Единой информационной системе закупок.
Информация о кодах ОКПД2 носит справочный характер. Коды приведены в качестве примера возможных вариантов классификации данного оборудования. Выбор кода, его соответствие нормативно-правовым актам и целесообразность применения определяются заказчиком самостоятельно. ООО «Спин Аналитика» не несёт ответственности за некорректное применение указанных кодов при осуществлении закупочных процедур.