Zeiss GeminiSEM 560
Автоэмиссионный SEM с колонной Gemini 2 и детектором Inlens SE/BSE. Разрешение 0,7 нм (15 кВ), 1,0 нм (1 кВ). Технология NanoVP: нано-разрешение при переменном давлении. Ускоряющее напряжение 0,02-30 кВ. ПО SmartSEM.
ООО «Спин Аналитика» не осуществляет продажу оборудования. Платформа является информационно-навигационным сервисом.
Ключевые характеристики
| NanoVP | Нано-разрешение при переменном давлении |
| Тип | Автоэмиссионный SEM (колонна Gemini 2) |
| Детекторы | Inlens SE/BSE, ETD, aSTEM (опции) |
| Разрешение | 0,7 нм (15 кВ), 1,0 нм (1 кВ) |
| Форм-фактор | Напольный |
| Ускоряющее напряжение | 0,02-30 кВ |
| Программное обеспечение | SmartSEM, ZEN Connect |
Описание
Назначение
Zeiss GeminiSEM 560 - автоэмиссионный SEM с уникальной колонной Gemini для суб-нанометровой визуализации.
Место в линейке
GeminiSEM 560 - исследовательский SEM Zeiss. Младшие: EVO (вольфрам), Sigma (Schottky). Старшая GeminiSEM 700 - ультравысокое разрешение. FIB-SEM: Crossbeam.
Zeiss (Оберкохен, Германия) производит электронные микроскопы с 1950-х годов.
Принцип работы
Колонна Gemini 2 использует комбинацию электростатической и электромагнитной линз. Ин-лензовый SE-детектор регистрирует вторичные электроны непосредственно в колонне - максимальная эффективность сбора и контраст.
Позиция на рынке
GeminiSEM конкурирует с Apreo 2 и IT800. Уникальное преимущество: NanoVP - нанометровое разрешение при переменном давлении.
Ключевые технологии
Колонна Gemini 2
Комбинация электростатической и электромагнитной линз минимизирует аберрации. Пучок стабилен при всех напряжениях от 0,02 до 30 кВ.
NanoVP
NanoVP - переменное давление с нанометровым разрешением. Непроводящие образцы анализируются без напыления при разрешении, близком к высоковакуумному. Уникальная технология Zeiss.
Inlens SE/BSE
Детектор внутри колонны: максимальная эффективность сбора SE и BSE. Поверхностный контраст при низком напряжении.
Для кого подходит
- Материаловедение - наноструктура, поверхность, композиты
- Непроводящие образцы - керамика, полимеры, биоткани (NanoVP, без напыления)
- Полупроводники - инспекция, контроль процессов
- Геология - минералогия, EBSD
Особенности эксплуатации
Программное обеспечение
SmartSEM - управление. ZEN Connect - корреляционная микроскопия.
Требования к установке
- Форм-фактор: напольный
- Виброизоляция
- Площадь: ~6 м²
Ограничения
- Стоимость конфигурации с NanoVP существенна
- Для ультравысокого разрешения: GeminiSEM 700
Области применения
Сравнение с аналогами
Apreo 2: Trinity Detection, ChemiSEM. GeminiSEM 560: Gemini-колонна, NanoVP. Для непроводящих образцов без напыления - GeminiSEM. Для встроенного EDS - Apreo.
IT800: 5 объективов, 500 нА. GeminiSEM 560: Gemini-колонна, NanoVP. Для высокого тока - JEOL. Для непроводящих образцов - Zeiss.
Частые вопросы
Зачем NanoVP?
NanoVP позволяет получить нанометровое разрешение при переменном давлении (без высокого вакуума). Непроводящие образцы не нужно напылять проводящим покрытием. Это критично для: керамики, биоматериалов, полимеров, геологических образцов.
Дополнительные материалы
Коды для госзакупок
Возможные коды ОКПД2 для закупки данного оборудования по 44-ФЗ и 223-ФЗ. Выбор кода зависит от назначения и контекста закупки.
Коды КТРУ регулярно обновляются Минфином и зависят от конкретных характеристик закупаемого оборудования (автоматическое/полуавтоматическое, с охлаждением/без и т.д.). Актуальные коды КТРУ доступны только в Единой информационной системе закупок.
Информация о кодах ОКПД2 носит справочный характер. Коды приведены в качестве примера возможных вариантов классификации данного оборудования. Выбор кода, его соответствие нормативно-правовым актам и целесообразность применения определяются заказчиком самостоятельно. ООО «Спин Аналитика» не несёт ответственности за некорректное применение указанных кодов при осуществлении закупочных процедур.